아스플로는 반도체 장비 및 고순도 특수 가스 라인에 사용되는 고청정 정밀부품을 제조하는 기술혁신 전문기업이다. 아스플로가 생산하는 고청정 스테인리스 스틸^{Stainless Steel} 튜브 및 파이프, 피팅, 밸브, 레귤레이터, 필터 부품은 반도체 제조공정에 사용되는 수십 여 종의 초고순도 가스를 가스저장시설에서 반도체 장비까지 이송해주는 반도체 제조공정의 핵심 부품이다.

반도체 공정가스용 고청정 정밀부품시장은 진입장벽이 매우 높다. 반도체 생산에는 매우 고가의 생산설비가 사용되기 때문에, 기존 미국이나 일본 공급사의 제품을 선호하며 공급사 변경도 매우 까다롭다. 아스플로는 수입에 의존했던 반도체 공정가스용 고청정 튜브 소재 국산화에 성공해 삼성전자와 SK하이닉스의 품질인증을 확보하면서 본격적인 수입대체 사업화에 진입했다.

핵심기술인 ‘극청정 표면처리 기술’을 바탕으로 ‘고정밀 가공기술, 용접기술 및 나노입자 여과기술’을 확보하면서 반도체 공정가스용 부품 생산에 필요한 일괄 부품 생산 공정을 마련했다.

아스플로는 정부의 R&D사업지원을 통해 ‘UHP급 (극청정) 강관 및 밸브’를 개발해 글로벌 경쟁사 제품과 동일 수준의 UHP급 제품기술을 확보하고, 반도체 공정가스용 고청정 정밀부품들을 일괄 공급할 수 있는 전문기업으로 성장했다.

초고순도 가스 공급을 위한 부품 개발에 필수적인 극청정 표면처리기술, 고정밀 가공기술, 고정밀 용접기술 등과 같은 기반 기술을 통해, 반도체 공정가스 공급에 필요한 일련의 부품라인업을 갖춤으로써 핵심 부품의 안정적 공급으로 국내 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여했다.

또한 스테인리스 강관 표면의 부동태 층 특성 평가 및 분석 기술을 확립해 극청정 스테인리스 소재의 반도체 분야 적용성 확대에 기여했다. 이와 같은 개발 과정에서 확보된 다양한 기반 기술을 바탕으로 글로벌 선진 기업 대비 우위에 설 수 있는 소재부품을 개발해 국내외 반도체 기술 발전에 기여했다.